?? FHL-600型硬碳膜制备设备 - 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

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FHL-600型硬碳膜制备设备
编号:SN20150801154211421
类别:硬碳膜制备设备
  • 产品概述
  • 规格参数
  • 服务支持

     

    设备用途

        单室立式结构的高真空镀膜设备,可用于开发单层膜—类金刚石膜(DLC)等。类金刚石膜具有红外光谱透过率高、硬度高、摩擦系数小、化学稳定性好等优点,可以作为多种光学材料的增透率和?;つ?,起到抗磨损、抗腐蚀、抗潮解和抗氧化的作用。

     

    设备组成

        主要由镀膜室、靶电极、射频电源、电磁线圈及控制电源、泵抽系统、真空测量系统、电控系统、气路系统、水路系统等组成。

     

    样片


     

    技术指标

     

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